鐘罩爐所提供的燒結(jié)窯爐的主要特性是高效率，其智能控制系統(tǒng)和其他設(shè)備構(gòu)成了一個(gè)完整的功能單元，可充分滿足鐵氧體行業(yè)近乎藝術(shù)級(jí)的要求。可以根據(jù)需要編寫和儲(chǔ)存任何的溫度/氣氛曲線，來(lái)生產(chǎn)高質(zhì)量的產(chǎn)品。除此以外還可以根據(jù)實(shí)際需要及時(shí)生產(chǎn)任何其他產(chǎn)品，從而縮短交貨期和降低成本。在燒結(jié)時(shí)僅僅需要少數(shù)操作人員，裝載和卸載可以在白天完成，而燒結(jié)可以在夜間完成，實(shí)現(xiàn)電力調(diào)峰，在當(dāng)今電力緊張情況下，十分實(shí)用。

　　目前設(shè)備可用于砷化鎵、硅以及其他半導(dǎo)體材料，離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。鐘罩爐主要由真空腔室、加熱室、進(jìn)氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、氣冷系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)等幾部分組成的，下面咱們來(lái)了解下各組成部分的作用：

　　1、真空腔室：真空腔室是其工作空間，晶圓在這里進(jìn)行快速熱處理。

　　2、加熱室：加熱室以多個(gè)紅外燈管為加熱元件，以耐高溫合金為框架、高純石英為主體。

　　3、進(jìn)氣系統(tǒng)：真空腔室尾部有進(jìn)氣孔，控制的進(jìn)氣量用來(lái)滿足一些特殊工藝的氣體需求。

　　4、真空系統(tǒng)：在真空泵和真空腔室之間裝有高真空電磁閥，可以有效確保腔室真空度，同時(shí)避免氣體倒灌污染腔室內(nèi)的被處理工件。

　　5、溫度控制系統(tǒng)：溫度控制系統(tǒng)由溫度傳感器、溫度控制器、電力調(diào)整器、可編程控制器、PC及各種傳感器等組成。

　　6、氣冷系統(tǒng)：真空腔室的冷卻是通過(guò)進(jìn)氣系統(tǒng)向腔室內(nèi)充入惰性氣體，來(lái)加速冷卻被熱處理的工件，滿足工藝使用要求。

　　7、水冷系統(tǒng)：主要包括真空腔室、加熱室、各部位密封圈的冷卻用水。

　　使用步驟：

　　1、檢查與準(zhǔn)備：

　　（1）仔細(xì)檢查各部件是否完好，確保無(wú)損壞或松動(dòng)。

　　（2）確認(rèn)電源連接正常，且電源開關(guān)處于關(guān)閉狀態(tài)。

　　2、啟動(dòng)與升溫：

　　（1）合上電源開關(guān)，此時(shí)電源指示燈應(yīng)亮起。

　　（2）根據(jù)需要調(diào)整溫度指示調(diào)節(jié)儀，設(shè)定所需的工作溫度。

　　（3）啟動(dòng)升溫程序，注意升溫過(guò)程應(yīng)分階段逐漸進(jìn)行，避免急劇升溫對(duì)設(shè)備造成損害。

　　3、監(jiān)控與調(diào)節(jié)：

　　（1）在升溫過(guò)程中，密切監(jiān)控溫度指示調(diào)節(jié)儀的顯示，確保溫度控制在設(shè)定范圍內(nèi)。

　　（2）當(dāng)溫度達(dá)到設(shè)定值時(shí)，將自動(dòng)斷電并維持恒溫狀態(tài)。若溫度偏離設(shè)定值，應(yīng)及時(shí)調(diào)節(jié)。

　　4、關(guān)閉與清理：

　　（1）完成實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)后，先切斷電源，等待設(shè)備冷卻至安全溫度。

　　（2）打開爐門，取出樣品或產(chǎn)品。

　　（3）清理設(shè)備內(nèi)部及周圍區(qū)域，保持整潔。